反射鏡的分類介紹

一、平面反射鏡

1.介質(zhì)膜反射鏡：在光學(xué)元件表面鍍多層介質(zhì)膜，使得某一波段干涉疊加，從而增強(qiáng)反射率。介質(zhì)膜反射率較高，可在寬波長譜區(qū)使用，膜沒有對光的吸收，膜較硬不易受損，適用于多波長激光的光學(xué)系統(tǒng)。該類反射鏡膜層較厚，角度敏感，成本較高。

2.激光線反射鏡：激光線反射鏡的基片材料為紫外熔融石英，其表面的高反射膜為Nd:YAG介質(zhì)膜，采用電子束蒸鍍和離子輔助沉積的工藝鍍制而成。相較于K9材質(zhì)，紫外熔融石英具有更好的均勻性和更低的熱膨脹系數(shù)，使其特別適合應(yīng)用于紫外到近紅外波段，高功率激光和成像領(lǐng)域。常見的激光線反射鏡的工作波長有266 nm、355 nm、532 nm和1064 nm四種，入射角度分為0-45°或45°兩種，反射率高達(dá)97%以上。

3.超快反射鏡：超快反射鏡的基片材料為熔融石英，其表面的高反射膜為低群延遲色散介質(zhì)膜，采用離子束濺射（IBS）的工藝鍍制而成。熔融石英具有更低的熱膨脹系數(shù)和極高的熱震動穩(wěn)定性，使其特別適用于高功率飛秒脈沖激光和成像領(lǐng)域。超快反射鏡常見的工作波長范圍有460 nm-590 nm、700 nm-930 nm、970 nm-1150 nm和1400 nm-1700 nm四種，光束從45°入射，反射率高達(dá)99.5%以上。

4.超級反射鏡：超級反射鏡通過在紫外熔融石英基底上鍍多層折射率高低交替的介質(zhì)反射膜制作而成，通過增加膜層數(shù)量提高反射率，可以使超級反射鏡在設(shè)計(jì)波長處的反射率優(yōu)于99.99%，適合用于反射率要求很高的光學(xué)系統(tǒng)。

5.金屬膜反射鏡：金屬膜反射鏡非常適用于寬譜光源光路偏轉(zhuǎn)，其在寬譜范圍內(nèi)具有較高的反射率。金屬膜在高濕度環(huán)境中很容易被氧化變色或脫落，因此金屬膜反射鏡一般在其表面鍍一層二氧化硅保護(hù)膜，用于隔絕金屬膜與空氣直接接觸，避免金屬膜被氧化影響光學(xué)性能。

二、直角棱鏡反射鏡

通常直角邊鍍增透膜，斜邊鍍反射膜。直角棱鏡本身有較大的接觸面積以及有45°，90°這樣典型的角度，所以，和普通的反射鏡相比， 直角棱鏡更容易安裝，對機(jī)械應(yīng)力具有更好的穩(wěn)定性和強(qiáng)度。它們是各類裝置和儀器用光學(xué)件的最佳選擇。

三、離軸拋物面反射鏡

離軸拋物面反射鏡是表面反射鏡，其反射表面是母拋物面中截取的一部分。利用離軸拋物面反射鏡可以聚焦平行光束或準(zhǔn)直點(diǎn)光源，其離軸設(shè)計(jì)可以使焦點(diǎn)從光路中分離出來。與透鏡相比，使用離軸拋物面反射鏡不會產(chǎn)生球差、色差，且不會引入相位延遲和吸收損耗，非常適用于飛秒脈沖激光器。

四、中空屋脊棱鏡反射鏡

1.GFAl鋁膜反射鏡：

鋁膜反射鏡分裸鋁膜反射鏡和保護(hù)鋁膜反射鏡，保護(hù)鋁膜反射鏡是在鋁膜上再鍍一層MgF2或SiO2，用于保護(hù)鋁膜不被擦傷或氧化。在所有入射角度都具有高反射率，可作為紫外光、可見光、近紅外光的反射鏡使用。

2.GFAu金膜反射鏡：

鍍有高反射率金膜的反射鏡可用于近紅外，紅外譜區(qū)的寬譜區(qū)，為了增強(qiáng)金膜的附著力，鍍有一層極薄的鉻質(zhì)底膜。硅基板的金膜附著力很強(qiáng)，導(dǎo)熱系數(shù)很高，耐熱性比玻璃基板好很多。由于是金膜，反射率或反射率波長特性不會隨入射角度發(fā)生大的變化。在紅外譜區(qū)具有很高的反射率，沒有反射的光被薄膜全部吸收，不會透過。

3.GFAg銀膜反射鏡：

從可見光到近紅外波段，平均反射率高。在銀膜上鍍了一層保護(hù)膜，可防止氧化，延長使用壽命。與鋁膜反射鏡相比，在可見光到近紅外波段反射率更高。與介質(zhì)膜反射鏡相比，反射率受入射角度的影響很小，可用于各種入射角度。鍍了保護(hù)膜，用布等擦拭時(shí)也不容易劃傷。

4.GFM 寬帶介質(zhì)膜反射鏡：

寬帶介質(zhì)膜反射鏡在寬波段內(nèi)反射率較高，適用于調(diào)波長激光器和白光。介質(zhì)膜反射鏡對入射角比較敏感，未說明的情況下，默認(rèn)的介質(zhì)膜反射鏡的入射角均為 45°。介質(zhì)膜幾乎沒有吸收，可以承受連續(xù)的激光照射。