美軍標(biāo)關(guān)于光學(xué)表面疵病的說(shuō)明

一.定義：

表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)：依據(jù)美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B用兩組數(shù)字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制劃痕大小，后者限制麻點(diǎn)大小。

道子、亮路都統(tǒng)稱為劃痕。

斑點(diǎn)、坑點(diǎn)、點(diǎn)子 都稱為麻點(diǎn)。

規(guī)定長(zhǎng)與寬的比大于4：1的為劃痕；長(zhǎng)與寬的比小于4：1的為麻點(diǎn)。

當(dāng)元件的不同區(qū)域表面光潔度要求不一樣時(shí)，等效直徑的計(jì)算以區(qū)域進(jìn)行：表面質(zhì)量要求高的內(nèi)區(qū)域其等效直徑以內(nèi)區(qū)域?yàn)闇?zhǔn)（如有效孔徑的區(qū)域），表面質(zhì)量要求低的外區(qū)域計(jì)算的是整體元件的等效直徑。

§美軍標(biāo)規(guī)定對(duì)于非圓形元件其直徑取相等面積圓的直徑。

劃痕：

以美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)《MIL-O-13830》的表面質(zhì)量劃痕樣板作為各級(jí)數(shù)劃痕的比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)。（注意：美軍標(biāo)未指明劃痕的計(jì)量單位也即未確定劃痕的寬度和深度，只能以實(shí)際觀察樣版為標(biāo)準(zhǔn)。）

這里的劃痕級(jí)數(shù)就是通常的劃痕號(hào)數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)樣版有10#、20#、40#、60#、80#  5個(gè)級(jí)。

§SC-QA027表面質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)共有7條劃痕判定標(biāo)準(zhǔn)，前5條是美軍標(biāo)的規(guī)定，后兩條是公司內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)。以下逐條講解：

1.當(dāng)元件的劃痕級(jí)數(shù)超過(guò)表面質(zhì)量要求的劃痕級(jí)數(shù)時(shí)，元件不合格。

例如：元件的表面質(zhì)量要求為60—40，則代表元件的劃痕必須≤60#，如果元件有＞60#的劃痕，則元件不合格。 

2.當(dāng)元件的劃痕級(jí)數(shù)未超過(guò)表面質(zhì)量要求的級(jí)數(shù)，但元件存在最大劃痕時(shí)，所有最大劃痕的長(zhǎng)度之和應(yīng)不超過(guò)元件直徑的1/4。

例如：有一長(zhǎng)30mm寬10mm的元件，元件的表面質(zhì)量要求為60—40，有2條60#長(zhǎng)為3 mm劃痕。

     它的等效直徑為20mm

     1/4D為1/4×20=5mm

     最大劃痕的長(zhǎng)度和為：

      3mm+3mm=6mm

     6mm>5mm元件最大劃痕的長(zhǎng)度和超過(guò)元件直徑的1/4。所以元件不合格。

3.當(dāng)元件存在最大劃痕，而最大劃痕的長(zhǎng)度之和未超過(guò)1/4D，要求所有級(jí)數(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和，不得超過(guò)最大劃痕級(jí)數(shù)的一半。

例：有一長(zhǎng)30mm寬10mm的元件，元件的表面質(zhì)量要求為60—40，元件上有2條2mm的60#劃痕，3條4mm的40#劃痕。

     它的等效直徑為20mm

       1/4D為1/4×20=5mm

      最大劃痕的長(zhǎng)度和為：

        2mm+2mm=4mm

       4mm<5mm。符合2條。

但所有級(jí)數(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為：

1．60#劃痕長(zhǎng)度為（2+2）；40#劃痕長(zhǎng)度為（4+4+4+4）

2．60#劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比為60×（2+2）/20；

   40#劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比為40×（4+4+4+4）/20

3．所有級(jí)數(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為：

   [60×（2+2）/20]+[40×（4+4+4+4）/20=36

   元件最大劃痕級(jí)數(shù)為60；60的一半為60/2=30）36>30；因此，元件不合格。

4.當(dāng)元件的劃痕級(jí)數(shù)未超過(guò)表面質(zhì)量要求的級(jí)數(shù)，且元件不存在最大劃痕時(shí)，所有級(jí)數(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和，不得超過(guò)最大劃痕級(jí)數(shù)。

例①：元件為Æ10，表面質(zhì)量指標(biāo)60—40，有2條50#劃痕2mm，1條40#劃痕3mm，另2條40#劃痕2mm，2條20#劃痕2mm,10#劃痕長(zhǎng)度合計(jì)10 mm。

所有級(jí)數(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為：

[50×（2+2）/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66

元件最大劃痕為60#    66>60；因此，元件不合格。

5.當(dāng)元件質(zhì)量指標(biāo)要求劃痕等級(jí)為20或優(yōu)于此等級(jí)時(shí)，元件表面不準(zhǔn)有密集劃痕即在元件中任何一個(gè)Æ6.35mm面積的區(qū)域，不允許有4條或4條以上的大等于10#劃痕。

例：表面質(zhì)量指標(biāo)為20-10，Æ20mm，

在如圖（1）所示的區(qū)或有2條長(zhǎng)1mm

和2條長(zhǎng)0.5mm的10#劃痕。

它符合5.1.1;5.1.4 （無(wú)需考慮5.1.2;5.1.3）

但它不符合5.1.5條。元件不合格。

6.對(duì)于圓形元件不允許有20#級(jí)數(shù)以上與直徑相等的劃痕。對(duì)于方形元件不允許有20#級(jí)數(shù)以上貫穿元件的劃痕。

麻點(diǎn)：

依據(jù)美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B麻點(diǎn)的級(jí)數(shù)取允許缺陷的實(shí)際直徑，規(guī)定以1/100mm作為計(jì)量單位。如果麻點(diǎn)形狀不規(guī)則。則應(yīng)取最大長(zhǎng)度和最大寬度的平均值作為直徑。

（注意：美軍標(biāo)的麻點(diǎn)與劃痕不同，麻點(diǎn)是可計(jì)量的也即麻點(diǎn)的大小是確定的，50#麻點(diǎn)也即直徑D=0.5mm的麻點(diǎn)）

1.當(dāng)元件存在超過(guò)表面質(zhì)量要求的麻點(diǎn)級(jí)數(shù)時(shí)，元件不合格。

例：元件為Æ20mm，質(zhì)量指標(biāo)要求為60—40，元件有1個(gè)直徑0.5mm的麻點(diǎn)       50>40元件不合格。

2.每20mm直徑上只允許有1個(gè)最大麻點(diǎn)。

例：元件為Æ20mm，質(zhì)量指標(biāo)要求為60—40，元件有2個(gè)直徑0.4mm的麻點(diǎn)元件不合格

3.每20mm直徑上所有麻點(diǎn)直徑的總和不得超過(guò)最大麻點(diǎn)的2倍

例： 40mm×40mm的元件，質(zhì)量指標(biāo)要求為60-40，其中一個(gè)Æ20mm的區(qū)域有40#點(diǎn)子一個(gè)，20#點(diǎn)子一個(gè)，10#點(diǎn)子一個(gè)，同時(shí)在另一個(gè)Æ20mm區(qū)域中，20#點(diǎn)子2個(gè)，10#點(diǎn)子4個(gè)，5#點(diǎn)子1個(gè)。

§4.當(dāng)麻點(diǎn)質(zhì)量要求為10或更優(yōu)等級(jí)時(shí)，任何兩個(gè)麻點(diǎn)的間距必須大于1mm

例:元件40mm×40mm的元件，

質(zhì)量指標(biāo)要求為20-10,

有兩個(gè)5#的點(diǎn)子，點(diǎn)子

之間的距離為0.8mm.

0.8mm<1mm元件不合格

§5.小于2.5um的麻點(diǎn)略去不計(jì)。

§6. 當(dāng)出現(xiàn)如圖所示密集麻點(diǎn)時(shí)以麻點(diǎn)聚集的外圍圈徑為麻點(diǎn)大小

§氣泡和包絡(luò)：包絡(luò)當(dāng)作氣泡考慮。

依據(jù)美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B氣泡的級(jí)數(shù)與麻點(diǎn)一樣，單位也相同。不規(guī)則氣泡直也是取最大寬度和長(zhǎng)度的平均值。

氣泡的允許值與麻點(diǎn)相同。但氣泡和包絡(luò)必須與麻點(diǎn)區(qū)分開(kāi)來(lái)，單獨(dú)評(píng)價(jià)。