美國開發(fā)出低溫鉆石薄膜

美國先進鉆石技術公司專家開發(fā)出一種新方法，可以在較低溫度下給電子設備涂上一層鉆石薄膜，讓更多電子設備未來都穿上超強品質的鉆石“外衣”。相關論文發(fā)表在美國物理學會(AIP)期刊《應用物理快報》上。

鉆石由于其硬度、光學透明度、光潔度、耐化學藥品、輻射和電場等方面卓越性質，在工業(yè)和高科技裝置上具有特殊價值。研究人員將鉆石用在電子設備上時，把半導體硼引入鉆石制造過程，通過“摻雜”使其能導電。但過去，利用摻雜鉆石涂層或薄膜賦予電子設備鉆石般的品質，還面臨很大挑戰(zhàn)，因為摻雜鉆石涂層在應用時要求很高溫度，而生物傳感器、半導體、光子和光學設備等靈敏度較高的電子設備遇到高溫會被破壞。

在論文中，美國伊利諾斯州先進鉆石技術公司報道，他們造出了一種硼摻雜鉆石薄膜，能在低溫下(460℃到600℃)給許多電子設備穿上鉆石“外衣”。

低溫沉淀硼摻雜鉆石薄膜的概念已不新鮮。但在實際應用中，尚未發(fā)現(xiàn)品質優(yōu)良又能迅速制造用于商業(yè)化用途的鉆石薄膜。研究小組通過降低溫度，并調整通常工藝中甲烷和氫氣的比例，改變了原來硼摻雜所需正常溫度，也能生產(chǎn)出高質量薄膜，在導電性或光潔度方面跟高溫生產(chǎn)的鉆石薄膜沒多大區(qū)別。

研究人員說，他們還需要更多數(shù)據(jù)進一步研究，以更好地掌握低溫環(huán)境。利用進一步優(yōu)化的方法，有望在低于400℃的溫度下沉淀硼摻雜鉆石薄膜。先進鉆石技術公司的曾宏君(音譯)說：“沉淀溫度越低，就能在越多的電子設備上應用。在厚度、光潔度、導電性等方面也將進一步拓寬鉆石涂層的生產(chǎn)種類?！?/p>